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多層W摻雜納米晶Ni基薄膜熱穩定性及高溫強化機制研究

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多層W摻雜納米晶Ni基薄膜熱穩定性及高溫強化機制研究
論文目錄
 
摘要第1-5頁
ABSTRACT第5-11頁
第一章 緒論第11-36頁
  1.1 選題的背景及意義第11-12頁
  1.2 高溫MEMS材料研究概況及進展第12-17頁
    1.2.1 可應用于高溫MEMS材料概述第12-13頁
    1.2.2 Si基材料第13-14頁
    1.2.3 Ni基材料第14-17頁
  1.3 納米Ni_3Al薄膜和Ni/Ni_3Al多層膜的研究現狀第17-20頁
    1.3.1 Ni_3Al金屬間化合物的研究背景第17-18頁
    1.3.2 Ni_3Al薄膜微觀組織、相組成與力學性能第18-19頁
    1.3.3 Ni/Ni_3Al多層膜微觀組織與力學性能第19-20頁
  1.4 W摻雜Ni基薄膜的研究現狀第20-25頁
    1.4.1 室溫下Ni-W薄膜組織特點與力學性能第20-22頁
    1.4.2 高溫下W摻雜Ni基薄膜組織演化與力學性能第22-25頁
  1.5 本文主要研究內容第25-26頁
參考文獻第26-36頁
第二章 試驗材料、設備及表征方法第36-44頁
  2.1 薄膜的制備工藝第36-41頁
    2.1.1 基體材料與預處理第36頁
    2.1.2 試驗設備與靶材選擇第36-37頁
    2.1.3 Ni/Ni_3Al多層膜的制備第37-39頁
    2.1.4 W摻雜Ni_3Al單層膜的制備第39頁
    2.1.5 W摻雜Ni/Ni_3Al多層膜的制備第39-41頁
  2.2 Ni基薄膜的熱處理第41-42頁
  2.3 薄膜微觀組織表征第42-43頁
    2.3.1 X射線衍射第42頁
    2.3.2 原子力顯微鏡第42頁
    2.3.3 掃描電子顯微鏡第42頁
    2.3.4 透射電子顯微鏡第42-43頁
  2.4 薄膜力學性能測試第43-44頁
第三章 Ni/Ni_3Al多層膜高溫微觀組織與硬度演化規律第44-77頁
  3.1 引言第44頁
  3.2 沉積態Ni/Ni_3Al多層膜微觀結構與相組成第44-50頁
    3.2.1 表面微觀組織形貌第44-48頁
    3.2.2 相組成與晶粒尺寸第48-49頁
    3.2.3 橫截面微觀組織第49-50頁
  3.3 高溫下Ni/Ni_3Al多層膜微觀組織的演變第50-66頁
    3.3.1 調制周期、溫度對薄膜表面形貌的影響第50-53頁
    3.3.2 多層膜高溫下相組成與晶粒尺寸第53-57頁
    3.3.3 高溫下多層膜微觀組織演化與熱穩定性第57-64頁
    3.3.4 多層膜的有序化轉變機制第64-66頁
  3.4 Ni/Ni_3Al多層膜硬度隨溫度和單層膜厚變化規律第66-67頁
  3.5 高溫下Ni/Ni_3Al多層膜的強化機制第67-73頁
    3.5.1 退火溫度對多層膜硬度的影響第67-68頁
    3.5.2 單層膜厚40nm至160nm多層膜高溫強化機制第68-71頁
    3.5.3 單層膜厚不超過40nm多層膜的高溫強化機制第71-73頁
  3.6 本章小結第73-75頁
參考文獻第75-77頁
第四章 W摻雜Ni_3Al單層膜高溫下微觀組織演化規律與退火硬化機制第77-104頁
  4.1 引言第77-78頁
  4.2 W摻雜Ni_3Al單層膜的表面形貌與粗糙度第78-81頁
    4.2.1 沉積態薄膜表面形貌與粗糙度第78-79頁
    4.2.2 退火態薄膜表面形貌與粗糙度第79-81頁
  4.3 W摻雜Ni_3Al單層膜在不同溫度下微觀組織演化規律第81-92頁
    4.3.1 W摻雜Ni_3Al單層膜的相組成第81-85頁
    4.3.2 W摻雜Ni_3Al單層膜的晶體結構與晶粒尺寸第85-87頁
    4.3.3 W摻雜Ni_3Al單層膜的微觀組織形貌第87-92頁
  4.4 W摻雜Ni_3Al單層膜熱穩定機制第92-96頁
  4.5 W摻雜Ni_3Al單層膜的力學性能與強化機制第96-101頁
    4.5.1 不同溫度下Ni_3Al-W單層膜的硬度第96-97頁
    4.5.2 W摻雜Ni_3Al單層膜不同溫度條件下強化機制第97-101頁
  4.6 本章小結第101-102頁
參考文獻第102-104頁
第五章 Ni/Ni_3Al-W多層膜熱穩定性與強化機制第104-140頁
  5.1 引言第104-105頁
  5.2 沉積態Ni/Ni_3Al-W多層膜微觀組織與相組成第105-108頁
    5.2.1 表面形貌與粗糙度第105-106頁
    5.2.2 橫截面形貌第106-107頁
    5.2.3 相組成第107-108頁
  5.3 高溫退火下Ni/Ni_3Al-W多層膜表面形貌與粗糙度第108-111頁
    5.3.1 600℃退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜第108-109頁
    5.3.2 800℃退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜第109-110頁
    5.3.3 退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜表面粗糙度第110-111頁
  5.4 高溫下Ni/Ni_3Al-W多層膜微觀組織與相組成演化規律第111-119頁
    5.4.1 退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜的相組成第111-114頁
    5.4.2 退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜的橫截面微觀組織形貌第114-117頁
    5.4.3 退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜的晶粒尺寸演化規律第117-119頁
  5.5 Ni/Ni_3Al-W多層膜熱穩定機制與高溫相變行為研究第119-127頁
  5.6 沉積態Ni/Ni_3Al-W多層膜的力學性能第127-129頁
  5.7 退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜的力學性能與強化機制第129-135頁
    5.7.1 Ni/Ni_3Al-W多層膜硬度隨溫度變化曲線第129-130頁
    5.7.2 600℃退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜硬化機制第130-131頁
    5.7.3 800℃退火態Ni/Ni_3Al-W多層膜高溫軟化機制與硬化機制第131-135頁
  5.8 本章小結第135-137頁
參考文獻第137-140頁
第六章 主要結論及創新點第140-143頁
創新點第142-143頁
攻讀博士學位期間發表的學術論文第143-144頁
致謝第144-146頁

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