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磁控濺射法制備鉿摻雜類金剛石薄膜的結構與性能研究

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磁控濺射法制備鉿摻雜類金剛石薄膜的結構與性能研究
論文目錄
 
摘要第1-5頁
Abstract第5頁
第1章 緒論第8-21頁
    1.1 DLC薄膜的概述第8-13頁
        1.1.1 DLC薄膜的結構和分類第8-9頁
        1.1.2 DLC薄膜的性能與應用第9-11頁
        1.1.3 DLC薄膜的制備方法第11-13頁
    1.2 元素摻雜DLC薄膜的研究現狀第13-19頁
        1.2.1 金屬摻雜DLC薄膜第14-17頁
        1.2.2 非金屬摻雜DLC薄膜第17-19頁
    1.3 研究課題的提出第19-21頁
        1.3.1 本文選題背景第19-20頁
        1.3.2 主要研究內容與技術路線第20-21頁
第2章 DLC薄膜的制備與測試第21-27頁
    2.1 DLC薄膜的制備儀器第21-22頁
    2.2 薄膜樣品的制備工藝第22-24頁
        2.2.1 基體材料預處理第22頁
        2.2.2 Hf-DLC薄膜的制備工藝第22-23頁
        2.2.3 (Hf:N)-DLC薄膜的制備工藝第23-24頁
    2.3 薄膜樣品的測試第24-27頁
        2.3.1 測試儀器及設備第24頁
        2.3.2 組成和結構測試第24-25頁
        2.3.3 形貌和厚度測試第25頁
        2.3.4 性能測試第25-27頁
第3章 不同含量Hf摻雜DLC薄膜的結構及力學性能研究第27-39頁
    3.1 Hf-DLC薄膜的結構和組成分析第27-31頁
        3.1.1 XRD相結構分析第27-28頁
        3.1.2 Raman光譜分析第28-29頁
        3.1.3 XPS鍵合結構分析第29-31頁
    3.2 Hf-DLC薄膜的表面形貌與沉積速率第31-34頁
        3.2.1 SEM形貌分析第31-32頁
        3.2.2 AFM形貌分析第32-33頁
        3.2.3 Hf-DLC薄膜的沉積速率第33-34頁
    3.3 Hf-DLC薄膜的硬度與彈性模量第34-36頁
        3.3.1 硬度與彈性模量隨Hf含量變化關系第34-36頁
        3.3.2 硬度與彈性模量隨Hf含量變化關系分析第36頁
    3.4 Hf-DLC薄膜的摩擦系數與磨損壽命第36-38頁
        3.4.1 摩擦系數與磨損壽命隨Hf含量變化關系第36-37頁
        3.4.2 摩擦系數與磨損壽命隨Hf含量變化關系分析第37-38頁
    3.5 本章小結第38-39頁
第4章 不同氮流量比下(Hf:N)-DLC薄膜的結構與光學性能研究第39-48頁
    4.1 (Hf:N)-DLC薄膜的結構和組成分析第39-43頁
        4.1.1 XRD相結構分析第39-40頁
        4.1.2 Raman光譜分析第40-41頁
        4.1.3 XPS鍵合結構分析第41-43頁
    4.2 (Hf:N)-DLC薄膜的表面形貌與沉積速率第43-45頁
        4.2.1 SEM形貌分析第43頁
        4.2.2 AFM形貌分析第43-44頁
        4.2.3 (Hf:N)-DLC薄膜的沉積速率第44-45頁
    4.3 (Hf:N)-DLC薄膜的光學帶隙第45-47頁
        4.3.1 光學帶隙與氮流量比變化關系第45頁
        4.3.2 光學帶隙與氮流量比變化關系分析第45-46頁
        4.3.3 光學帶隙與I_D/I_G變化關系第46頁
        4.3.4 光學帶隙與I_D/I_G變化關系分析第46-47頁
    4.4 本章小結第47-48頁
第5章 結論與展望第48-50頁
參考文獻第50-57頁
個人簡歷、攻讀碩士學位期間取得的成果第57-58頁
致謝第58頁

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