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GaAs(001)表面量子多環的制備與形貌探究

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GaAs(001)表面量子多環的制備與形貌探究
論文目錄
 
摘要第1-5頁
Abstracrt第5-7頁
第一章 緒論第7-12頁
  1.1 半導體材料第7-8頁
  1.2 低維半導體材料第8頁
  1.3 外延生長理論第8-11頁
  1.4 本文研究的意義第11-12頁
第二章 量子環第12-21頁
  2.1 局部增長法生長量子環第12-14頁
  2.2 液滴外延法生長量子環第14-17頁
  2.3 有序量子環第17-20頁
  2.4 本章小結第20-21頁
第三章 實驗儀器第21-28頁
  3.1 分子束外延系統第21-25頁
    3.1.1 真空系統第22-23頁
    3.1.2 熱蒸發源第23-24頁
    3.1.3 反射式高能電子衍射儀第24-25頁
  3.2 原子力顯微鏡第25-27頁
  3.3 本章小結第27-28頁
第四章 實驗前準備第28-38頁
  4.1 實驗準備工作第28-33頁
    4.1.1 As壓校準第28-29頁
    4.1.2 源溫校準和速率測量第29-30頁
    4.1.3 襯底脫氧及緩沖層生長第30-32頁
    4.1.4 襯底溫度校準第32-33頁
  4.2 襯底溫度對液滴密度和尺寸的影響第33-35頁
    4.2.1 實驗條件第33頁
    4.2.2 結果與討論第33-35頁
  4.3 雙環的生長工藝第35-37頁
    4.3.1 實驗條件第35頁
    4.3.2 結果與討論第35-37頁
  4.4 本章小結第37-38頁
第五章 GaAs量子雙環的制備與探究第38-49頁
  5.1 Ga原子沉積量對量子雙環形貌的影響第38-41頁
    5.1.1 實驗條件第38頁
    5.1.2 結果與討論第38-41頁
  5.2 Ga原子沉積速率對量子雙環形貌的影響第41-46頁
    5.2.1 實驗條件第41頁
    5.2.2 結果與討論第41-46頁
  5.3 As束流大小對量子雙環形貌的影響第46-48頁
    5.3.1 實驗條件第46頁
    5.3.2 結果與討論第46-48頁
  5.4 本章小結第48-49頁
第六章 GaAs量子多環的制備與探究第49-59頁
  6.1 生長溫度對GaAs量子三環的影響第49-51頁
    6.1.1 實驗條件第49頁
    6.1.2 結果與討論第49-51頁
  6.2 As束流大小對GaAs量子三環的影響第51-54頁
    6.2.1 實驗條件第52頁
    6.2.2 結果與討論第52-54頁
  6.3 物理模型第54-56頁
  6.4 GaAs量子四環第56-58頁
    6.4.1 實驗條件第56-57頁
    6.4.2 結果與討論第57-58頁
  6.5 本章小結第58-59頁
第七章 總結與展望第59-61頁
  7.1 總結第59-60頁
  7.2 展望第60-61頁
致謝第61-62頁
參考文獻第62-69頁
攻讀碩士期間參加發表的論文和參加科研情況第69-70頁

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