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三維集成系統中硅直通孔的多物理場模型研究

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三維集成系統中硅直通孔的多物理場模型研究
論文目錄
 
摘要第1-5頁
Abstract第5-7頁
第一章 緒論第7-16頁
  1.1 基于硅通孔的三維集成技術第7-9頁
  1.2 硅通孔的制作工藝第9-11頁
  1.3 多物理場環境下硅通孔的可靠性第11-12頁
  1.4 國內外研究現狀第12-14頁
  1.5 研究內容和結構安排第14-16頁
第二章 TSV的熱學模型及三維集成系統的熱管理第16-26頁
  2.1 概述第16-17頁
  2.2 TSV的熱阻模型第17-22頁
    2.2.1 一維熱阻模型第18-19頁
    2.2.2 分段熱阻模型第19-21頁
    2.2.3 有限元仿真模型建立第21-22頁
  2.3 穩態溫度結果與討論第22-24頁
  2.4 三維集成系統的熱管理第24-25頁
  2.5 本章小結第25-26頁
第三章 TSV的熱應力可靠性第26-41頁
  3.1 概述第26-27頁
  3.2 硅通孔幾何參數對熱應力的影響第27-32頁
    3.2.1 銅半徑的影響第27-30頁
    3.2.2 絕緣層的影響第30-32頁
    3.2.3 勢壘層的影響第32頁
  3.3 熱應力對載流子遷移率的影響第32-35頁
  3.4 提高TSV熱應力可靠性的方法第35-39頁
    3.4.1 應力釋放槽第35-37頁
    3.4.2 BCB絕緣層第37-38頁
    3.4.3 Air-gap TSV第38-39頁
  3.5 圓錐形硅通孔第39-40頁
  3.6 本章小結第40-41頁
第四章 硅通孔內部電致應力及熱電耦合分析第41-57頁
  4.1 電學可靠性第41-44頁
  4.2 熱電耦合分析第44-48頁
  4.3 電致熱應力第48-56頁
  4.4 本章小結第56-57頁
第五章 硅通孔的熱-力-電多物理場可靠性第57-75頁
  5.1 兩個TSV電-熱-力耦合分析第57-63頁
  5.2 四個TSV電-熱-力耦合分析第63-73頁
    5.2.1 正方形排列第63-67頁
    5.2.2 菱形排列第67-73頁
  5.3 本章小結第73-75頁
第六章 總結與展望第75-77頁
  6.1 工作總結第75-76頁
  6.2 工作展望第76-77頁
致謝第77-78頁
參考文獻第78-82頁
附錄第82-83頁

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三維集成 硅通孔 多物理場 可靠性 熱管理
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